点击图片查看原图
| 品牌： | 英国泰勒霍普森 | 型号： | Talysurf CCI |
| 测量精度： | 0.01 | 外形尺寸： | 500*600（mm） |
| 重量： | 50（kg） | 适用范围： | 0-1 |
(1) 类型： CCI 干涉（相干相关干涉）
(2) 分辨率： 0.1 A
(3) 测量点数： 1,048,576 ( 1024 x 1024 点阵 )
更详细参数和有关应用问题请垂询办事处产品负责人。
•专利的相干相关算法
•0.01nm分辨率
•10-20秒测量时间
•RMS重复性：0.03A
TalysurfCCI三维非接触形貌仪采用CCI（专利技术的相干相关算法）干涉原理，可高精度测量表面形貌、表面粗糙度及关键尺寸，并计算关键部位的面积和体积。主要应用于数据存储器件，半导体器件，光学加工以及MEMS/MOEMS技术以及材料分析领域。
